螺桿干泵
產品特點：
· 轉子型線設計，具有真空度高；
· 無潤滑油，實現高潔凈真空；
· 螺距轉子有良好幾何對稱性，實現低噪音、高壽命；
· 可抽除可凝性蒸汽、含有灰塵、有毒等多種氣體，不會滯留在泵腔內，適用于惡劣的應用場合；
· 特殊軸承設計，振動低，并且擁有強的啟動可靠性，尤其適合苛刻的工藝制程；
· 獨特密封方式，具有很強地密封性能及超長的使用壽命性；
· 特殊電機，提高運行可靠性，延長使用壽命并降低維護成本；
· 智能控制系統設計，使用智能編程可實現面板按鈕一鍵啟停 , 實現遠程控制和監控功能；
· 結構設計緊湊，零部件少、易維護。
產品應用
冶金
真空釬焊、電子束焊接、氮碳共滲、低壓滲氮、低壓滲碳、化學氣相浸漬、燒結、金屬注射成型、熔模鑄造、電渣重熔、真空感應熔煉、真空電弧精煉、鋼液脫氣等。
鍍膜
卷繞鍍膜、硬質鍍膜 (CVD/DLC)、表面活化、等離子噴涂、玻璃鍍膜等。
干燥
冷凍干燥、套管填充、變壓器干燥、管道干燥、電容器干燥、鋰電池干燥等。
真空室排氣
空間環境模擬、氣體回收 / 循環、真空室抽空等。
等離子工藝
等離子焊接、離子滲碳、等離子蝕刻及清理、等離子清洗等。
太陽能光伏
單晶硅提拉、PV 層壓、LED 制造等。
其它
貼合機、醫療設備等。
主要性能指標：
抽速曲線圖：